Первый российский литограф уже создан и проходит испытания

Раскрыт покупатель первого российского серийного литографа. Поставка до конца 2026 года

Первый серийный российский литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром, будет передан заказчику в декабре 2026 г. Им станет «Маппер», входящий в «Ростех». Стоимость базовой версии литографа с разрешением 350 нм может составить 392 млн руб., а с расширенным сервисным обслуживанием — 561 млн руб.

Поставка первого литографа
Как стало известно CNews, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) литограф с разрешением 350 нм будет передан заказчикам в декабре 2026 г. Первым получателем станет производитель микроэлектроники «Маппер». Об этом CNews рассказали источники, близкие к компании и Минпромторгу.

Вторая серийная машина после «Маппера» поступит к компании «Отраслевые решения», входящей в группу «Элемент». Об этой поставке было известно еще в сентябре 2025 г.

Представители «ЗНТЦ» отказались от комментариев. Хотя о том, что есть два коммерческих контракта на литограф говорил руководитель производства изделий РЭА ЗНТЦ Дмитрий Калбазов на выставке ExpoElectronica-2026. В «Элементе» и «Маппере» не ответили на запросы CNews.

Чем известен «Маппер»
«Маппер» — это современная МЭМС-фабрика, расположенная в Технополисе «Москва». Компания специализируется на контрактном производстве чувствительных элементов на основе кремния по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) на 100-мм пластинах.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

Где-то в маминой квартире заплакал Араратик. Ему больно.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

Будет плакать «Маппер».

Заплакал не только Араратик. Слышен вой блохастого. Ишь, как русофобчику это не по нраву. Тут принцып такой, если у него в жизни все дерьмовое. То и в России должно быть так же.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

мост бумажный?

Чудо вылезло? Ты с подключением ассинхронного двигателя уже разобрался???

блохастый, "ассинхронного двигателя" это что такое?
это какой-то новый двигатель?
как я могу разобраться, что у тебя в конуре и башке?

Поплачь еще недоделкин

- Это синхронный двигатель для асов на гнилых прульках!

_________________
Есть лжецы, есть отъявленные лжецы, и есть украинцы (с) У. Черчилль

о как!
пошел невнятный лепет доделкина.
доделкин из конуры, к тебе вопрос,
так что это за двигатель "ассинхронный"?

Ты считаешь, что это сложно? Или это сложно для тебя?

_________________
«Когда гонишь глистов из кошки, то для врача это спецоперация, для глистов— война, для кошки— очищение» (ц)

Ну расстроился блохастый!! Зачем же этого руссофоба пинать ногами!!

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

свалил блохастый не прощаясь, "исскать ассинхронный" двигатель

Блохастый.. Он такой , может и найти.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

«Маппер» — это МЭМС-фабрика в Технополисе «Москва»
Компания занимается контрактным производством чувствительных элементов на основе кремния по технологии микроэлектромеханических систем, или МЭМС.

На предприятии 1500 кв. м чистых помещений, более 30 единиц оборудования и около 70 специалистов. Производственная мощность составляет до 5000 пластин в год.

Компания появилась в 2012 году как дочернее предприятие нидерландского холдинга Mapper Lithography. С апреля 2022 года «Маппер» принадлежит АО «ОКБ «Астрон», которое входит в холдинг «Швабе» госкорпорации «Ростех».

Вместе с «Астроном» «Маппер» участвует в проекте Минпромторга по серийному производству инфракрасных матриц для беспилотников и тепловизоров.

К 2028 году в России планируется наладить выпуск около 11,5 тыс. детекторов инфракрасного излучения в год. На проект выделяются миллиарды рублей: на каждый из шести цехов производственной цепочки предусмотрено от 4 млрд до 15 млрд рублей.

больше литографов, хороших и разных

_________________
хохлы, где мобилизация??

вступай в ряды литографов - давай вместе бить хохло-фашистскую гадину..

Ты по аккуратней. Доведешь Араратика до истерики.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

Создан опытный образец самого передового в России литографа для производства чипов
В России создана установка проекционного переноса изображений для производства интегральных схем с проектными нормами 130 нм.

12 Августа 2026 17:15

Оборудование разработал «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) в кооперации с белорусским «Планар».

Установка литографии
Как выяснил CNews, АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) завершил третий этап опытно-конструкторских работ по созданию фотолитографической установки с проектными нормами 130 нм. Акт сдачи-приемки этапа подписан 7 августа 2026 г.

Оборудование предназначено для проекционного переноса изображения топологического рисунка интегральных схем на полупроводниковые пластины диаметром до 200 мм и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольших интегральных схем (СБИС) с проектной топологической нормой 130 нм.

В рамках работ изготовлены два опытных образца эксимерного лазера с длиной волны 193 нм. Также изготовлены фотошаблоны, тестовые структуры, стенд для измерения и контроля фотолитографических и аберрационных характеристик объективов на рабочих длинах волн, отработаны базовые технологические процессы.

Работы сданы с опозданием. По графику третий этап ЗНТЦ должен был сдать в марте 2026 г., но фактически сдал в августе. На установке отработаны базовые технологические процессы.

Замена ASML
Отечественные и белорусские аналоги такого оборудования отсутствуют. Среди иностранных аналогов в документации перечислены Nikon, CANON и ASML. Однако российская установка имеет «отличительные особенности, ввиду достижения необходимого разрешения путем применения оборудования, в том числе источника излучения собственной разработки, использования отечественных материалов», следует из акта.

zntts.webp

ЗНТЦ
В России создан литограф на 130 нм
Ключевая особенность разработки — использование в качестве источника излучения эксимерных лазеров с длиной волны 193 нм. Именно такие источники излучения применяются в мировой практике для DUV-литографии при производстве чипов с нормами 130 нм и меньше.

Серийные поставки
«Пока создан только опытный образец степпера, — рассказал CNews глава ЗНТЦ Анатолий Ковалев. — Предстоит проведение предварительных испытаний, постановка базового технологического процесса».

Он сообщил, что в 2027 г. компания планирует контрактоваться с потребителями в рамках серийных поставок.

Кто все-таки разработчик?
Судя по документам, разработкой установки занимался белорусский ОАО «Планар» (149,6 млн руб.). Помимо самой установки, компания отвечала за изготовление механических узлов (195 млн руб.), деталей и наладку опытного образца (свыше 100 млн руб.). Лазеры разработала компания «ЛАССАРД» за 500 млн руб.

Оплата «Планар» и «ЛАССАРД» составили чуть более 1 млрд руб.

По словам Ковалева, ЗНТЦ делает в проекте разработку установки в целом, конструктив стендов испытательных и технологических, расчеты объективов, а также моделирование и разработку техпроцесса.

Стоимость и структура затрат
На всю разработку установки Минпромторг выделил 5,7 млрд руб. Стоимость третьего этапа ОКР составила более 2,46 млрд рублей.

Помимо оплаты «Планару» и «ЛАССАРД» 1 млрд руб., на материалы и комплектующие было потрачено 912,9 млн руб. Оплата труда составила 95,1 млн руб.

Стоимость самой установки оценена в 542,2 млн руб., лазеров — по 49 и 46 млн руб.

Этап для российской микроэлектроники
«Создание опытного образца отечественного фотолитографа с проектной нормой 130 нм — важный этап для российской микроэлектроники, рассказал CNews Александр Михайлов, руководитель проектов практики «Промышленность и технологии» Strategy Partners. — Это доказывает наличие собственных инженерных компетенций по созданию такого оборудования и открывает путь к развитию линейки с меньшими нормами (90 нм, 65 нм)».

В то же время от опытного образца до промышленной эксплуатации предстоит пройти еще значительный путь: подтвердить технологические и надежностные характеристики установки в реальной эксплуатации, проверить ее совместимость с действующими технологическими линиями, предупреждает Михайлов. «На первых этапах, вероятно, речь будет идти об ограниченной серии (несколько установок), которую по мере отработки технологии и появления устойчивого спроса можно будет масштабировать», отметил он.

Для масштабирования может потребоваться комплексная господдержка как стороне предложения, так и стороне спроса: льготное финансирование и субсидирование затрат на запуск серийного производства, долгосрочное обеспечение спроса со стороны российских предприятий (в том числе, фиксация объемов поставок на уровне документов планирования развития отрасли), поддержка (субсидирование) закупки и внедрения оборудования, предупреждает Михайлов.

Андрей Бурилов, ИТ-директор Мосбиржи: Финансовые операции станут частью кода
цифровизация
Для промышленности нормативы 130 нм на 200-миллиметровых кремниевых пластинах — это основной рабочий базис, говорит руководитель проектов холдинга SNDGLOBAL Лапотко Константин. Именно этот класс оборудования закрывает ключевые потребности автомобильной электроники, энергетики, промышленных контроллеров, связи и специальных систем».

Реальная емкость отечественного спроса привязана к действующим и проектируемым заводам, работающим с 200-миллиметровыми пластинами (включая площадки «Микрона», «НМ-Теха», предприятий группы «Элемент» и профильных НИИ). Общий парк зарубежных установок аналогичного класса, закупленных ранее, составляет в стране порядка 25-40 единиц, отметил Лапотко.

По его словам, с учетом их износа и планов по расширению линий, совокупная потребность российской микроэлектроники можно оценить где-то в 15-25 установок на горизонте до 2030-2032 гг.

Из этого вытекает и характер будущего производства: речь идет о штучном, мелкосерийном выпуске высочайшей точности.

Чем известен «ЗНТЦ»
АО «Зеленоградский нанотехнологический центр» — российский разработчик и производитель микроэлектроники и оборудования для ее производства.

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!

https://vkvideo.ru/video-11071 ... 41395

Российско-белорусский литограф на 130 нм уже в Зеленограде на испытаниях. Разбираемся какие планы на будущее.
0:00 Вступление. В прошлых сериях...
0:45 350 нм литограф из 2024 года на видео
1:25 Откуда берём сведения для информации в этом видео
2:02 Дополнительные сведения о ходе работ по ОКР "Прогресс ППИ 130"
2:53 Что было сделано в рамках создания 130 нм литографа
4:43 Кусков литографа разработано на два, а на выходе - один
5:42 Как удаётся поднять "чёткость" когда оптически она уже не достижима
7:27 Всё "железо" уже в Зеленограде
8:02 Почему всё таки запутано и какой в итоге будет литограф на 130 нм?
9:51 Как куски ОКР 130 нм превратятся в будущий 90 нм литограф
10:47 Следующий литограф будет не степером, а сканером
11:38 Почему "макет" это важно и сложно
14:30 Итоги по выполненным работам
15:05 Следующие шаги (90 - 65 нм)
15:34 Ещё один шаг (45-28 нм)
16:18 Не нулевая вероятность пропуска шага 90 нм
17:32 Физические пределы размеров планарных транзисторов (28 - 14 нм)
21:14 Безмасочный литограф на 150 нм. Сделано два экземпляра, тоже уже в Зеленограде
23:11 Что по рентгеновской литографии?
24:48 Завершение постройки СКИФ и Орёл 7
26:01 Конец

_________________
Араратик, так где бан, который ты обещал. Не вижу. !!